FE-SEM(Inspect F) 이미지

FE-SEM(Inspect F)

Model
FEI (Inspect F)
Location
L5145
Tel
02-958-4944

Inspect F enables high-resolution inspection and characterization capabilities using a high brightness / high current Schottky field emission source providing clear, sharp and noise free imaging.

Specifications

  • Accelerating voltage : < 30 kV

  • SEM resolution : < 1.0 nm

  • Magnification : 10 ~ 500,000 X

  • Everhardt Thornley SED

Applications

  • Electron beam current measurement

  • EDS

  • EBL (Electron Beam Lithography)

  • EBIC (Electron Beam Induced Current)

Application examples

예약가능 예약불가

장비명

FE-SEM(Inspect F)

예약날짜

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예약현황

    운영 및 예약 시간 안내

    오전 09:00 ~ 12:00 오후 13:00 ~ 18:00 예약자가 있는 시간대는 예약불가입니다.