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뉴스레터

한국과학기술연구원 특성분석센터

NEWS LETTER
2015 April Vol. 6

D-SIMS를 이용한 정량분석


 AES, XPS, TOF-SIMS와 같은 대표적 표면분석 장비인 Dynamic SIMS는 말 그대로 다이너믹한 일차이온 빔을 사용하여 타 표면분석 장비에 비해 단층 깊이에 대한 정성, 정량적 정보를 신속히 얻을 수 있고, 수 ppm의 검출한계를 가지며 높은 질량 분해능을 가진 장점이 있습니다. Dynamic SIMS는 절대정량은 불가능하지만 표준시료를 이용하여 정량적 데이터를 얻을 수 있습니다. 이번 뉴스레터를 통해 정량분석에 관한 정보 뿐만 아니라 어떤 시료의 분석에 이용되는 지를 소개합니다.

Medium Energy Ion Scattering (MEIS)


 현재 분석장비 중에 1 nm 영역의 박막 두께와 조성을 측정하는 장비를 떠올리라고 하면 쉽게 떠오르지 않을 것이다. 물론 여기서 언급하고자 하는 Medium Energy Ion Scattering (MEIS) 방법도 그 영역의 두께를 측정하기에는 조건도 필요하고 30 nm 이내의 박막 분석으로 제한되지만, 비파괴 분석방법으로 1 nm 영역의 두께와 조성을 정확성을 가지고 측정하는 것은 꽤 흥미로운 연구이다.

Residual stress analysis of XRD


 잔류응력은 외력이 없는 상태에서 물체나 재료 내에 남아 있는 응력으로 주로 열 수축, 격자 불일치, 미세조식 불균일 등에 의해 발생한다. 이로 인해 구조의 뒤틀림 현상, 균열 및 파단 발생, 강도나 인성, 마모 등과 같은 기계적 특성 저하 마지막으로 구조물 또는 디바이스의 수명 단축 현상이 일어난다. 이번 기사에서는 X-ray diffraction을 이용한 잔류응력의 원리와 분석에 대해 살펴보고자 한다.

이제 SEM 사진도 3D시대 !


 3D 영화를 만드는 것과 같은 원리로 SEM에서 역시 3D 사진을 획득할 수 있다. 3차원적인 이미지는 관점 투영을 기반으로 3D를 측정 후 각 Pixel의 밀도와 Contrast와 Brightness를 해석하여 깊이와 높이를 구현한다. 또한 분석 모듈은 프로파일, 조도, 면적, 부피, 높이를 측정 할 수 있다.

Iodine-129 Program at KIST


  We are currently developing a program for 129I analysis, which is one of the major anthropogenic radio nuclides produced as the result of the nuclear fission, using the 6 MV accelerator system at KIST. Following is a brief introduction to the field and some applications of interest.